| 热丝法低温制备多晶硅薄膜微结构的研究 | |
| 王丽春; 张贵锋; 侯晓多; 姜辛 | |
| 刊名 | 人工晶体学报
 |
| 2007 | |
| 卷号 | 36页码:1372-1376,1398 |
| 关键词 | 热丝化学气相沉积 多晶硅薄膜 择优取向 晶化率 晶体形貌 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5665814 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性国家重点实验室,大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王丽春,张贵锋,侯晓多,等. 热丝法低温制备多晶硅薄膜微结构的研究[J]. 人工晶体学报,2007,36:1372-1376,1398. |
| APA | 王丽春,张贵锋,侯晓多,&姜辛.(2007).热丝法低温制备多晶硅薄膜微结构的研究.人工晶体学报,36,1372-1376,1398. |
| MLA | 王丽春,et al."热丝法低温制备多晶硅薄膜微结构的研究".人工晶体学报 36(2007):1372-1376,1398. |
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