| 热丝法制备多晶硅薄膜晶体取向及形态的研究 | |
| 柴展; 张贵锋; 王赛; 侯晓多 | |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
 |
| 2007 | |
| 卷号 | 27页码:76-79 |
| 关键词 | 热丝化学气相沉积 多晶硅薄膜 择优取向 晶体形态 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5664446 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,材料科学与工程学院,大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 柴展,张贵锋,王赛,等. 热丝法制备多晶硅薄膜晶体取向及形态的研究[J]. 真空科学与技术学报,2007,27:76-79. |
| APA | 柴展,张贵锋,王赛,&侯晓多.(2007).热丝法制备多晶硅薄膜晶体取向及形态的研究.真空科学与技术学报,27,76-79. |
| MLA | 柴展,et al."热丝法制备多晶硅薄膜晶体取向及形态的研究".真空科学与技术学报 27(2007):76-79. |
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