| 强流脉冲离子束辐照双层靶能量沉积的数值模拟 | |
| 宫野; 王晓东; 吴迪; 刘金远; 刘悦; 王晓钢; 马腾才 | |
| 2007 | |
| 会议名称 | TFC'07全国薄膜技术学术研讨会 |
| 会议日期 | 2007-08-01 |
| 会议地点 | 中国甘肃兰州 |
| 关键词 | 能量沉积 强流 分布模型 膜厚度 金膜 密度曲线 数值模拟 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5660985 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宫野,王晓东,吴迪,等. 强流脉冲离子束辐照双层靶能量沉积的数值模拟[C]. 见:TFC'07全国薄膜技术学术研讨会. 中国甘肃兰州. 2007-08-01. |
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