| 光辅助对MOCVD法制备的ZnO薄膜特性的影响研究 | |
| 李香萍; 张宝林; 董鑫; 张源涛; 夏晓川; 赵磊; 赵旺; 马艳; 杜国同 | |
| 2007 | |
| 会议名称 | 第11届全国发光学学术会议 |
| 会议日期 | 2007-08-01 |
| 会议地点 | 中国吉林长春 |
| 关键词 | MOCVD 薄膜特性 ZnO 禁带 光电子技术 外延层 高纯氧气 结晶质量 辅助条件 原子吸收 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第11届全国发光学学术会议
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5660980 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室 2.大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李香萍,张宝林,董鑫,等. 光辅助对MOCVD法制备的ZnO薄膜特性的影响研究[C]. 见:第11届全国发光学学术会议. 中国吉林长春. 2007-08-01. |
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