| MOCVD方法生长ZnO薄膜的XPS分析 | |
| 马艳; 张源涛; 张宝林; 杜国同 | |
| 2008 | |
| 会议名称 | 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议论文集中国电子学会;广州市科协 |
| 会议日期 | 2008-12-01 |
| 会议地点 | 广州 |
| 关键词 | 氧化锌薄膜 化学气相沉积法 X射线光电子能谱 元素价态 晶粒尺寸 |
| 页码 | 829-832 |
| 会议录 | 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议论文集中国电子学会
 ; 广州市科协
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5609908 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学物理与光电工程学院 大连 11602集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学电了科学与工程学院 长春 130012 2.集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学电了科学与工程学院 长春 130012 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马艳,张源涛,张宝林,等. MOCVD方法生长ZnO薄膜的XPS分析[C]. 见:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议论文集中国电子学会;广州市科协. 广州. 2008-12-01. |
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