| 金属铝离子注入掺杂制备氧化锌铝薄膜的研究 | |
| 李剑锋; 李国卿; 苟伟; 周艳梅; 薛钰芝; 牟宗信 | |
| 刊名 | 真空
 |
| 2008 | |
| 卷号 | 45页码:45-47 |
| 关键词 | 铝离子注入 氧化锌 薄膜 |
| ISSN号 | 1002-0322 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5598577 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连交通大学,材料学院,辽宁,大连,116028 2.大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116023 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李剑锋,李国卿,苟伟,等. 金属铝离子注入掺杂制备氧化锌铝薄膜的研究[J]. 真空,2008,45:45-47. |
| APA | 李剑锋,李国卿,苟伟,周艳梅,薛钰芝,&牟宗信.(2008).金属铝离子注入掺杂制备氧化锌铝薄膜的研究.真空,45,45-47. |
| MLA | 李剑锋,et al."金属铝离子注入掺杂制备氧化锌铝薄膜的研究".真空 45(2008):45-47. |
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