| 题名 | 金刚石基片上压电薄膜的制备及其生长特性研究 |
| 作者 | 孙剑 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 白亦真 ; 张庆瑜 |
| 关键词 | 压电薄膜 金刚石厚膜 声表面波器件 氧化锌薄膜 氮化镓薄膜 |
| 学位名称 | 博士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5596049 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙剑. 金刚石基片上压电薄膜的制备及其生长特性研究[D]. 大连理工大学. 2008. |
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