| 切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响 | |
| 高玉飞; 葛培琪; 李绍杰; 侯志坚 | |
| 刊名 | 武汉理工大学学报
 |
| 2008 | |
| 卷号 | 30期号:8页码:86-88 |
| 关键词 | 金刚石线锯 单晶硅片 切片 切削液 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5570960 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 山东大学机械工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高玉飞,葛培琪,李绍杰,等. 切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响[J]. 武汉理工大学学报,2008,30(8):86-88. |
| APA | 高玉飞,葛培琪,李绍杰,&侯志坚.(2008).切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响.武汉理工大学学报,30(8),86-88. |
| MLA | 高玉飞,et al."切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响".武汉理工大学学报 30.8(2008):86-88. |
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