| 往复式电镀金刚石线锯切割单晶硅片特性研究 | |
| 高玉飞; 葛培琪; 李绍杰 | |
| 刊名 | 人工晶体学报
 |
| 2009 | |
| 卷号 | 38期号:2页码:372-377 |
| 关键词 | 金刚石线锯 单晶硅 晶片 加工质量 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5533006 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.山东大学机械工程学院, 济南, 山东 250061, 中国. 2.山东大学机械工程学院, 济南, 山东 250061, 中国. 3.山东大学机械工程学院, 济南, 山 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高玉飞,葛培琪,李绍杰. 往复式电镀金刚石线锯切割单晶硅片特性研究[J]. 人工晶体学报,2009,38(2):372-377. |
| APA | 高玉飞,葛培琪,&李绍杰.(2009).往复式电镀金刚石线锯切割单晶硅片特性研究.人工晶体学报,38(2),372-377. |
| MLA | 高玉飞,et al."往复式电镀金刚石线锯切割单晶硅片特性研究".人工晶体学报 38.2(2009):372-377. |
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