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Effect of SiN:Hx passivation layer on the reverse gate leakage current in GaN HEMTs
张昇; 魏珂; 肖洋; 马晓华; 张一川; 刘果果; 雷天民; 郑英奎; 黄森; 汪宁
刊名中国物理B(英文版)
2018
卷号第27卷 第9期页码:540-544
关键词HEMT 漏电流 钝化层 Fourier 表面形态学 反向 化学结合 电容电压
ISSN号1674-1056
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公开日期[db:dc_date_available]
内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5455807
专题湖南大学
作者单位School of Advanced Materials and Nanotechnology,Xi'dian University,Xi' an 710071,China;High-Frequency High-Voltage Device and Integrated Circuits Center,Institute of Microelectronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China
推荐引用方式
GB/T 7714
张昇,魏珂,肖洋,等. Effect of SiN:Hx passivation layer on the reverse gate leakage current in GaN HEMTs[J]. 中国物理B(英文版),2018,第27卷 第9期:540-544.
APA 张昇.,魏珂.,肖洋.,马晓华.,张一川.,...&刘新宇.(2018).Effect of SiN:Hx passivation layer on the reverse gate leakage current in GaN HEMTs.中国物理B(英文版),第27卷 第9期,540-544.
MLA 张昇,et al."Effect of SiN:Hx passivation layer on the reverse gate leakage current in GaN HEMTs".中国物理B(英文版) 第27卷 第9期(2018):540-544.
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