| 题名 | SnO2薄膜的反应磁控溅射制备工艺、光学性能及多孔微观结构研究 |
| 作者 | 姚宏燚[1] |
| 答辩日期 | 2016 |
| 授予单位 | 江苏大学 |
| 关键词 | 半导体材料 氧化锡薄膜 薄膜结构 磁控溅射 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5361242 |
| 专题 | 江苏大学 |
| 作者单位 | 江苏大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姚宏燚[1]. SnO2薄膜的反应磁控溅射制备工艺、光学性能及多孔微观结构研究[D]. 江苏大学. 2016. |
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