题名 | SnO2薄膜的反应磁控溅射制备工艺、光学性能及多孔微观结构研究 |
作者 | 姚宏燚[1] |
答辩日期 | 2016 |
授予单位 | 江苏大学 |
关键词 | 半导体材料 氧化锡薄膜 薄膜结构 磁控溅射 |
学位名称 | 硕士 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 学位论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5361242 |
专题 | 江苏大学 |
作者单位 | 江苏大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 姚宏燚[1]. SnO2薄膜的反应磁控溅射制备工艺、光学性能及多孔微观结构研究[D]. 江苏大学. 2016. |
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