| 低温氧等离子体处理对单层二硫化钼薄膜表面性质影响的研究 | |
| 张伟冰[1]; 祝俊[2]; 王权[3] | |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
 |
| 2017 | |
| 期号 | 10页码:1003-1007 |
| 关键词 | 单层二硫化钼薄膜 低温氧等离子体 相位 表层电荷 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5348720 |
| 专题 | 江苏大学 |
| 作者单位 | 1.江苏大学机械工程学院 2.传感技术国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张伟冰[1],祝俊[2],王权[3]. 低温氧等离子体处理对单层二硫化钼薄膜表面性质影响的研究[J]. 真空科学与技术学报,2017(10):1003-1007. |
| APA | 张伟冰[1],祝俊[2],&王权[3].(2017).低温氧等离子体处理对单层二硫化钼薄膜表面性质影响的研究.真空科学与技术学报(10),1003-1007. |
| MLA | 张伟冰[1],et al."低温氧等离子体处理对单层二硫化钼薄膜表面性质影响的研究".真空科学与技术学报 .10(2017):1003-1007. |
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