| 题名 | 射频SiHlt;,4gt;/Clt;,2gt;Hlt;,4gt;/Ar放电产生尘埃等离子体及其诊断研究 |
| 作者 | 吴静 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 关键词 | 尘埃空洞 朗谬尔探针诊断 发射光谱诊断 电子密度 激发温度 |
| 学位名称 | 博士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5335609 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴静. 射频SiHlt;,4gt;/Clt;,2gt;Hlt;,4gt;/Ar放电产生尘埃等离子体及其诊断研究[D]. 大连理工大学. 2009. |
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