一种半导体材料激光电化学复合微加工方法及装置 | |
朱浩[1]; 张朝阳[2]; 徐坤[3]; 顾秦铭[4]; 朱帅杰[5]; 赵斗艳[6] | |
2018 | |
权利人 | 江苏大学 |
公开日期 | 2018-09-14 |
URL标识 | 查看原文 |
申请日期 | 2018-06-27 |
专利申请号 | CN201810674637.7 |
内容类型 | 专利 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5328322 |
专题 | 江苏大学 |
作者单位 | 江苏大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱浩[1],张朝阳[2],徐坤[3],等. 一种半导体材料激光电化学复合微加工方法及装置. 2018-01-01. |
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