提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法
李中梁; 王向朝; 王渤帆
2014-04-09
著作权人中国科学院上海光学精密机械研究所
专利号CN102169012B
国家中国
文献子类授权发明
其他题名提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法
英文摘要一种提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法,通过合理地选择正弦相位调制深度,从原理上消除了光源的光强调制引起的系统误差,减小了电路中的直流噪声引起的随机误差,提高了振动测量精度。
公开日期2014-04-09
申请日期2011-01-11
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42854]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李中梁,王向朝,王渤帆. 提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法. CN102169012B. 2014-04-09.
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