一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具

	一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具
	丁飞; 苏星; 王波; 张鹏; 李国
	2017-03-22
著作权人	哈尔滨工业大学
专利号	CN104907889B
国家	中国
文献子类	授权发明
其他题名	一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具
英文摘要	一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具，它属于精密测量的技术领域。它的挠性主轴座由上侧固定板通过多根挠性立柱与下侧固定轴板连接组成，被检测轴受到外力时，因多根挠性立柱刚性值低，被检测轴能带动固定轴板摆动，同时也带动挠性主轴座右侧挠性立柱的右端面上随动反射平面镜摆动；随动反射平面镜的反光面与固定反射平面镜的反光面互相平行相对，半导体激光器发射的激光经过随动反射平面镜的反光面和固定反射平面镜的反光面的多次反射后，入射到一维PSD位置传感器的感光窗口内。本发明利用柔性铰链主轴座进行力到微位移的转换，再利用光杠杆放大原理，采用PSD进行位置测量，最终检测到了主轴受力，实现了力反馈。
公开日期	2017-03-22
申请日期	2015-07-06
状态	授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42602]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	哈尔滨工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	丁飞,苏星,王波,等. 一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具. CN104907889B. 2017-03-22.