一种全息光栅阵列的制作装置 | |
李星辉; 周倩; 朱祥文; 倪凯; 王晓浩; 胡海飞; 燕鹏 | |
2018-08-17 | |
著作权人 | 清华大学深圳研究生院 |
专利号 | CN106226854B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 一种全息光栅阵列的制作装置 |
英文摘要 | 本发明公开了一种全息光栅阵列的制作装置,包括光源、准直镜、光阑、快门、分束镜、两面反射镜、光栅基板和移动平台,其中光源采用激光二极管,光源、准直镜和光阑沿光束前进的方向依次共轴排列,分束镜设置在光束经过光阑后的光路上,分束镜用于将光束反射为两光束,快门设置在光源与分束镜之间且与光束同轴;两面反射镜分别设置在经分束镜反射后的两光束的光路上,两面反射镜以分束镜为轴轴对称设置,光栅基板安装在移动平台上,且光栅基板位于干涉场。本发明提出的全息光栅阵列的制作装置,制作的全息光栅阵列可以应用于一维光栅尺,并大大降低了光源的成本,简化了结构、体积也大大减小。 |
公开日期 | 2018-08-17 |
申请日期 | 2016-09-21 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41175] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 清华大学深圳研究生院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李星辉,周倩,朱祥文,等. 一种全息光栅阵列的制作装置. CN106226854B. 2018-08-17. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论