波长可扫掠激光源 | |
克雷斯滕·温德; 托尔·安斯贝克; 郑一硕; 奥勒·汉森 | |
2018-01-23 | |
著作权人 | 丹麦科技大学 |
专利号 | CN104641517B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 波长可扫掠激光源 |
英文摘要 | 公开了波长可扫掠激光源,其中所述激光源为适于产生在激射波长处的激光的半导体激光源。所述激光源包括衬底、第一反射器以及第二反射器。所述第一反射器与所述第二反射器一起限定出光学腔,并且被布置为支持在光学腔中在垂直于衬底的方向上沿着光学路径的光振荡。所述光学腔包括在光学路径上的空隙。所述第二反射器通过悬挂装置被弹性地悬挂在距所述第一反射器一定的距离处并且具有静止位置,所述第二反射器和所述悬挂装置一起限定微机电MEMS振荡器。所述MEMS振荡器具有谐振频率并且适于使所述第二反射器在所述静止位置的每一侧振荡。所述激光源还包括适于向MEMS振荡器施加电场的电连接。此外,还公开了激光源系统和使用激光源的方法。 |
公开日期 | 2018-01-23 |
申请日期 | 2013-08-07 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40368] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 丹麦科技大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 克雷斯滕·温德,托尔·安斯贝克,郑一硕,等. 波长可扫掠激光源. CN104641517B. 2018-01-23. |
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