一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器 | |
张星; 钟础宇; 张建伟; 秦莉; 宁永强 | |
2019-05-21 | |
著作权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
专利号 | CN106848837B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器 |
英文摘要 | 本申请公开了一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器,包括依次设置于N面电极上表面的衬底层、N型DBR层、有源层和P型DBR层,分别构成圆柱形台面和分段柱形台面,圆柱形台面周围开设环形窗口,其底部位于N型DBR层中,其底面和侧面及位于其周围的P型DBR层的一部分上表面设置有介质薄膜电流限制层,其侧面和上表面以及上表面周围的P型DBR层的一部分上表面设置P面电极,分段柱形台面的P型DBR层的上表面位于P面电极外周部以外的区域覆盖有激光反射镜,能够在不增加器件工艺和材料生长工艺复杂程度,不使用外部温控,不影响器件性能的前提下,使其波长移动至满足应用需求的范围内,避免器成品率下降的问题。 |
公开日期 | 2019-05-21 |
申请日期 | 2017-03-31 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38502] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张星,钟础宇,张建伟,等. 一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器. CN106848837B. 2019-05-21. |
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