一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器
张星; 钟础宇; 张建伟; 秦莉; 宁永强
2019-05-21
著作权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
专利号CN106848837B
国家中国
文献子类授权发明
其他题名一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器
英文摘要本申请公开了一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器,包括依次设置于N面电极上表面的衬底层、N型DBR层、有源层和P型DBR层,分别构成圆柱形台面和分段柱形台面,圆柱形台面周围开设环形窗口,其底部位于N型DBR层中,其底面和侧面及位于其周围的P型DBR层的一部分上表面设置有介质薄膜电流限制层,其侧面和上表面以及上表面周围的P型DBR层的一部分上表面设置P面电极,分段柱形台面的P型DBR层的上表面位于P面电极外周部以外的区域覆盖有激光反射镜,能够在不增加器件工艺和材料生长工艺复杂程度,不使用外部温控,不影响器件性能的前提下,使其波长移动至满足应用需求的范围内,避免器成品率下降的问题。
公开日期2019-05-21
申请日期2017-03-31
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38502]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张星,钟础宇,张建伟,等. 一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器. CN106848837B. 2019-05-21.
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