一种垂直腔面发射激光芯片
彭钰仁; 贾钊; 许晏铭; 洪来荣; 陈为民; 陈进顺; 翁妹芝; 张坤铭; 朱鸿根; 陈伟明
2019-04-12
著作权人厦门乾照半导体科技有限公司
专利号CN208738609U
国家中国
文献子类实用新型
其他题名一种垂直腔面发射激光芯片
英文摘要本实用新型提供了一种垂直腔面发射激光芯片,包括衬底、依次位于衬底第一表面的N型DBR层、第一氧化层、MQW层、第二氧化层和P型DBR层;第一氧化层包括位于中心的第一未氧化区和位于第一未氧化区四周的第一氧化区;第二氧化层包括位于中心的第二未氧化区和位于第二未氧化区四周的第二氧化区;其中,第一氧化区和第二氧化区不导电,且第一未氧化区的面积小于第二未氧化区的面积。由于第一未氧化区的面积小于第二未氧化区的面积,因此,使得电流在第二未氧化区横向扩展,从而使得电流从第二未氧化区均匀流向第一未氧化区,进而增大了靠近VCSEL芯片中心区域的电流密度,减小了VCSEL芯片的半波宽。
公开日期2019-04-12
申请日期2018-10-29
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38399]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位厦门乾照半导体科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
彭钰仁,贾钊,许晏铭,等. 一种垂直腔面发射激光芯片. CN208738609U. 2019-04-12.
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