| 一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪 | |
| 王腾远; 茹媛; 徐潇雅; 高怡雯; 武佳美; 秦朝朝 | |
| 2019-03-12 | |
| 著作权人 | 河南师范大学 |
| 专利号 | CN208595878U |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 其他题名 | 一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪 |
| 英文摘要 | 本实用新型公开了一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪，包括相干光源及偏振延迟系统和同步移相系统，相干光源及偏振延迟系统包括半导体激光器、1/2λ波片、第一1/4λ波片、第一全反镜、第二1/4λ波片、第二全反镜、偏振分光棱镜、一维导轨，同步移相系统包括反射镜、第一光阑、第一透镜、第三1/4λ波片、第二透镜、第二光阑、偏振片组、第三透镜、CCD、数据采集卡、计算机和二维正交全息光栅，激光器和偏振分光棱镜之间设置有1/2λ波片，偏振分光棱镜和第一全反镜、第二全反镜之间分别设置有第一1/4λ波片和第二1/4λ波片。本实用新型解决振动产生对测量结果影响问题，具有超强的抗干扰能力，能够实现高精度的测量。 |
| 公开日期 | 2019-03-12 |
| 申请日期 | 2018-08-08 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38296]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 河南师范大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王腾远,茹媛,徐潇雅,等. 一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪. CN208595878U. 2019-03-12. |
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