| 光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器 | |
| 国伟华; 马向; 陆巧银 | |
| 2019-03-12 | |
| 著作权人 | 华中科技大学 |
| 专利号 | CN106329313B |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器 |
| 英文摘要 | 发明涉及半导体激光器技术领域，提出了一种光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器。该激光器的谐振腔腔体为支持回音壁模式的微柱腔。微柱腔从上往下包括欧姆接触层、光栅层、上盖层、有源区以及下盖层。光栅层上设的光栅位于微柱腔顶部外沿边，为二阶光栅；有源区采用张应变的量子阱材料，使激光器的工作模式为TM模式；微柱腔的外径最小可为激光器激射波长量级，因此可实现超高速调制。另外该激光器制作简便，只需要一次浅刻蚀二阶光栅就可以实现激光器的选模和输出。本发明具有体积小、检测方便、低成本、易于集成二维阵列、单模工作、阈值电流低、输出光易于与光纤耦合、可以在不同的材料体系上实现、制作简单等诸多优点。 |
| 公开日期 | 2019-03-12 |
| 申请日期 | 2016-09-29 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38290]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华中科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 国伟华,马向,陆巧银. 光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器. CN106329313B. 2019-03-12. |
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