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	Wafer-level testing of optical and optoelectronic chips
	GUNN, III, LAWRENCE C.; MALENDEVICH, ROMAN; PINGUET, THIERRY J.; RATTIER, MAXIME J.; SUSSMAN, MYLES; WITZENS, JEREMY
	2007-02-27
著作权人	LUXTERA, INC.
专利号	US7184626
国家	美国
文献子类	授权发明
其他题名	Wafer-level testing of optical and optoelectronic chips
英文摘要	This application describes, among others, wafer designs, testing systems and techniques for wafer-level optical testing by coupling probe light from top of the wafer.
公开日期	2007-02-27
申请日期	2004-04-07
状态	授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/37058]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	LUXTERA, INC.
推荐引用方式 GB/T 7714	GUNN, III, LAWRENCE C.,MALENDEVICH, ROMAN,PINGUET, THIERRY J.,et al. Wafer-level testing of optical and optoelectronic chips. US7184626. 2007-02-27.

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