晶粒之光電特性及外觀檢測系統
徐榮祥; 楊勇峰; 薛永亮
2019-09-01
著作权人駿曦股份有限公司
专利号TWI670503B
国家中国台湾
文献子类授权发明
其他题名晶粒之光電特性及外觀檢測系統
英文摘要本發明提供一種晶粒之光電特性及外觀檢測系統,包含有第一外觀檢測裝置進行晶粒正面檢測,移動裝置提取晶粒進行移動,第二外觀檢測裝置進行晶粒背面檢測,第一電性檢測裝置設置在滑軌裝置,以進行晶粒的第一電性檢測,第二電性檢測裝置進行晶粒的第二電性檢測,第三外觀檢測裝置設在滑軌裝置,以使第二電性檢測裝置位在第一、第三外觀檢測裝置間,第三外觀檢測裝置進行晶粒的側面檢測,檢測後將晶粒移至分類。本發明結合光學檢測及電性檢測,藉此一併檢測晶粒的光電特性及外觀,以增加檢測的速度。
公开日期2019-09-01
申请日期2018-09-04
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/34641]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位駿曦股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
徐榮祥,楊勇峰,薛永亮. 晶粒之光電特性及外觀檢測系統. TWI670503B. 2019-09-01.
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