激光束分析装置 | |
迈克尔·J·斯卡格斯 | |
2016-02-03 | |
著作权人 | HAAS激光技术公司 |
专利号 | CN103098319B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 激光束分析装置 |
英文摘要 | 一种使得能够实时测量由高功率激光束产生的激光束的空间轮廓、圆度、形心、像散和M2值的装置。本装置采用了在过程应用中使用的光学器件,包括聚焦透镜和覆盖玻璃。衰减模块包括以相对于激光束的共同入射角、以彼此平行隔开的关系设置的一对高反射镜板。束流收集器在该激光束的传播路径之外并且以接收由该第一和第二镜反射的光的关系定位。相机检测通过该第一和第二镜的光的斑点。由高反射性镜对形成的高功率衰减器定位在源和衰减模块之间。第二实施例包括具有高反射性表面的单个镜板。 |
公开日期 | 2016-02-03 |
申请日期 | 2011-04-08 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/32266] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | HAAS激光技术公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 迈克尔·J·斯卡格斯. 激光束分析装置. CN103098319B. 2016-02-03. |
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