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切削刀具测温传感器SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备及其性能表征
崔云先; 杨德顺; 孙宝元; 贾颖; 徐军
刊名功能材料
2009
卷号40页码:1850-1852,1856
关键词切削刀具 测温传感器 SiO_2绝缘薄膜 多层复合 磁控溅射
ISSN号1001-9731
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5306842
专题大连理工大学
作者单位1.大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,11602
2.大连交通大学,机械工程学院,辽宁,大连,116028
3.大连交通大学,机械工程学院,辽宁,大连,116028
4.大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024
5.大连理工大学,三束国家重点实验室,辽宁,大连,116024
推荐引用方式
GB/T 7714
崔云先,杨德顺,孙宝元,等. 切削刀具测温传感器SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备及其性能表征[J]. 功能材料,2009,40:1850-1852,1856.
APA 崔云先,杨德顺,孙宝元,贾颖,&徐军.(2009).切削刀具测温传感器SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备及其性能表征.功能材料,40,1850-1852,1856.
MLA 崔云先,et al."切削刀具测温传感器SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备及其性能表征".功能材料 40(2009):1850-1852,1856.
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