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甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响
屈芳; 白亦真; 庄春强; 贾福超; 邢娇杨; 姜辛
刊名材料研究与应用
2009
卷号3页码:28-31
关键词掺硼金刚石 热丝CVD 扫描电子显微镜 拉曼光谱
ISSN号1673-9981
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5306787
专题大连理工大学
作者单位1.大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁,大连,116024
2.大连理工大学三束材料表面改性实验室,辽宁,大连,116024
3.大连理工大学三束材料表面改性实验室,辽宁,大连,116024
4.大连理工大学材料科学与工程学院,辽宁,大连,116024
5.大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁,大连,116024
6.大连理工大学材料科学与工程学院,辽宁,大连,116024
推荐引用方式
GB/T 7714
屈芳,白亦真,庄春强,等. 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响[J]. 材料研究与应用,2009,3:28-31.
APA 屈芳,白亦真,庄春强,贾福超,邢娇杨,&姜辛.(2009).甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响.材料研究与应用,3,28-31.
MLA 屈芳,et al."甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响".材料研究与应用 3(2009):28-31.
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