甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响 | |
屈芳; 白亦真; 庄春强; 贾福超; 邢娇杨; 姜辛 | |
刊名 | 材料研究与应用
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2009 | |
卷号 | 3页码:28-31 |
关键词 | 掺硼金刚石 热丝CVD 扫描电子显微镜 拉曼光谱 |
ISSN号 | 1673-9981 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5306787 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 1.大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁,大连,116024 2.大连理工大学三束材料表面改性实验室,辽宁,大连,116024 3.大连理工大学三束材料表面改性实验室,辽宁,大连,116024 4.大连理工大学材料科学与工程学院,辽宁,大连,116024 5.大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁,大连,116024 6.大连理工大学材料科学与工程学院,辽宁,大连,116024 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 屈芳,白亦真,庄春强,等. 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响[J]. 材料研究与应用,2009,3:28-31. |
APA | 屈芳,白亦真,庄春强,贾福超,邢娇杨,&姜辛.(2009).甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响.材料研究与应用,3,28-31. |
MLA | 屈芳,et al."甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响".材料研究与应用 3(2009):28-31. |
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