| 二维双频容性耦合硅烷放电模拟 | |
| 刘相梅; 宋远红; 王友年 | |
| 2009 | |
| 会议名称 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会 |
| 会议日期 | 2009-07-20 |
| 会议地点 | 中国辽宁大连 |
| 关键词 | 容性耦合 等离子体加工 气体放电 半导体生产 材料处理 表面改性 不合格 电子温度 等离子体密度 放电特性 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5286828 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘相梅,宋远红,王友年. 二维双频容性耦合硅烷放电模拟[C]. 见:第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会. 中国辽宁大连. 2009-07-20. |
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