| 使用双探针诊断短间隙双频容性耦合放电等离子体 | |
| 杨烁; 陆文琪; 李志诚; 姜巍; 常大磊; 王友年 | |
| 2009 | |
| 会议名称 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会 |
| 会议日期 | 2009-07-20 |
| 会议地点 | 中国辽宁大连 |
| 关键词 | 容性耦合 放电等离子体 等离子体探针 朗缪尔探针 谐波成分 双探针 探针装置 电子温度 工艺参数 物理过程 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5286807 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨烁,陆文琪,李志诚,等. 使用双探针诊断短间隙双频容性耦合放电等离子体[C]. 见:第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会. 中国辽宁大连. 2009-07-20. |
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