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	Electrothermal drive photoresist i.e. SU-8 rubber, micro gripper manufacturing method, involves embedding micro gripper electrode in SU-8 rubber, and forming radiator hole on gripper body of micro gripper.
	CHU J WANG W ZHANG C ZHANG R
	2010
公开日期	2010-06-30
URL标识	查看原文
申请日期	2009-12-31
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5283286
专题	大连理工大学
作者单位	UNIV DALIAN TECHNOLOGY (UYDA-C
推荐引用方式 GB/T 7714	CHU J WANG W ZHANG C ZHANG R. Electrothermal drive photoresist i.e. SU-8 rubber, micro gripper manufacturing method, involves embedding micro gripper electrode in SU-8 rubber, and forming radiator hole on gripper body of micro gripper.. 2010-01-01.

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