| Sb掺杂对MOCVD生长的ZnO薄膜性质的影响 | |
| 赵涧泽; 梁红伟; 李硕石; 边继明; 胡礼中; 杜国同 | |
| 2010 | |
| 会议名称 | 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 |
| 会议日期 | 2010-10-25 |
| 会议地点 | 西安 |
| 关键词 | ZnO薄膜 MOCVD方法 掺杂改性 |
| 页码 | 321-322 |
| 会议录 | 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5272878 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学,大连 116023 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵涧泽,梁红伟,李硕石,等. Sb掺杂对MOCVD生长的ZnO薄膜性质的影响[C]. 见:第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议. 西安. 2010-10-25. |
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