| 聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究 | |
| 杜立群; 王煜; 王启佳; 陈莉 | |
| 刊名 | 大连理工大学学报
 |
| 2010 | |
| 卷号 | 50页码:907-911 |
| 关键词 | 超声时效 SU-8光刻胶 内应力测量 |
| ISSN号 | 1000-8608 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5261948 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024 2.大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜立群,王煜,王启佳,等. 聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究[J]. 大连理工大学学报,2010,50:907-911. |
| APA | 杜立群,王煜,王启佳,&陈莉.(2010).聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究.大连理工大学学报,50,907-911. |
| MLA | 杜立群,et al."聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究".大连理工大学学报 50(2010):907-911. |
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