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	连续氩氪离子激光晶化非晶硅薄膜的研究
	周德让[1]; 段国平[2]; 陈俊岭[3]; 韩俊鹤[4]; 黄明举[5]
刊名	激光技术
	2013
卷号	37期号:5页码:587-591
关键词	薄膜 多晶硅 连续激光晶化 激光功率密度 衬底
ISSN号	1001-3806
DOI	http://dx.doi.org/10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.05.006
URL标识	查看原文
收录类别	中文核心期刊要目总览中国科技核心期刊CSCD
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5248188
专题	河南大学
作者单位	[1]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475001[2]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475001[3]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475001[4]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475001[5]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475001
推荐引用方式 GB/T 7714	周德让[1],段国平[2],陈俊岭[3],等. 连续氩氪离子激光晶化非晶硅薄膜的研究[J]. 激光技术,2013,37(5):587-591.
APA	周德让[1],段国平[2],陈俊岭[3],韩俊鹤[4],&黄明举[5].(2013).连续氩氪离子激光晶化非晶硅薄膜的研究.激光技术,37(5),587-591.
MLA	周德让[1],et al."连续氩氪离子激光晶化非晶硅薄膜的研究".激光技术 37.5(2013):587-591.

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