CORC  > 河南大学
本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化
段国平[1]; 陈俊领[2]; 周德让[3]; 韩俊鹤[4]; 黄明举[5]
刊名激光技术
2013
卷号37期号:2页码:151-154
关键词激光技术 微晶硅 激光晶化 多晶硅 本征非晶硅
ISSN号1001-3806
DOIhttp://dx.doi.org/10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.02.004
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收录类别中文核心期刊要目总览中国科技核心期刊CSCD
内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5245620
专题河南大学
作者单位[1]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004[2]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004[3]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004[4]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004[5]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004
推荐引用方式
GB/T 7714
段国平[1],陈俊领[2],周德让[3],等. 本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化[J]. 激光技术,2013,37(2):151-154.
APA 段国平[1],陈俊领[2],周德让[3],韩俊鹤[4],&黄明举[5].(2013).本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化.激光技术,37(2),151-154.
MLA 段国平[1],et al."本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化".激光技术 37.2(2013):151-154.
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