本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化 | |
段国平[1]; 陈俊领[2]; 周德让[3]; 韩俊鹤[4]; 黄明举[5] | |
刊名 | 激光技术 |
2013 | |
卷号 | 37期号:2页码:151-154 |
关键词 | 激光技术 微晶硅 激光晶化 多晶硅 本征非晶硅 |
ISSN号 | 1001-3806 |
DOI | http://dx.doi.org/10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.02.004 |
URL标识 | 查看原文 |
收录类别 | 中文核心期刊要目总览中国科技核心期刊CSCD |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5245620 |
专题 | 河南大学 |
作者单位 | [1]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004[2]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004[3]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004[4]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004[5]河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,开封,475004 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 段国平[1],陈俊领[2],周德让[3],等. 本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化[J]. 激光技术,2013,37(2):151-154. |
APA | 段国平[1],陈俊领[2],周德让[3],韩俊鹤[4],&黄明举[5].(2013).本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化.激光技术,37(2),151-154. |
MLA | 段国平[1],et al."本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化".激光技术 37.2(2013):151-154. |
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