掺硅类金刚石薄膜的制备与表征

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	掺硅类金刚石薄膜的制备与表征
	周惠娣; 陈建敏; 李红轩; 吉利
刊名	中国表面工程
	2010
卷号	23 期号:4 页码:41227
关键词	R.F.PE CVD 掺硅类金刚石薄膜水环境结合强度摩擦因数 Si-doped DLC water environment adhesion strength friction coefficient
ISSN号	1007-9289
中文摘要	利用射频等离子增强化学气相沉积(R.F. PECVD)与非平衡磁控溅射相结合的技术，通过调节甲烷与氩气的比例，在不锈钢基底上制备了一系列硅含量不同的掺硅类金刚石(Si–DLC)薄膜。通过XPS谱图获得了各Si-DLC薄膜的化学组成及Si元素的相对含量。采用非接触式三维轮廓仪测量了薄膜的表面形貌、粗糙度和厚度。采用纳米压痕技术获得了各薄膜的纳米硬度。在UMT-2MT摩擦试验机采用划痕法评价了各薄膜的结合强度，并在CSM摩擦试验机上考察了各薄膜在空气及水环境下的摩擦学性能。结果表明，各薄膜的纳米硬度和结合强度有相似的变化规律，其最佳值均出现在CH4/Ar=5/6处；而当CH4/Ar=7/6时，薄膜在水环境下的摩擦学性能能得到显著提高，摩擦因数仅为0.012。
学科主题	材料科学与物理化学
资助信息	国家自然科学基金(50705093及50575217);国家自然科学基金委创新群体基金(50421502);国家“973”计划(2007 CB607601)
语种	中文
公开日期	2012-09-28
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/1141]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	周惠娣,陈建敏,李红轩,等. 掺硅类金刚石薄膜的制备与表征[J]. 中国表面工程,2010,23(4):41227.
APA	周惠娣,陈建敏,李红轩,&吉利.(2010).掺硅类金刚石薄膜的制备与表征.中国表面工程,23(4),41227.
MLA	周惠娣,et al."掺硅类金刚石薄膜的制备与表征".中国表面工程 23.4(2010):41227.