非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能

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	非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能
	陈建敏; 周惠娣; 吴艳霞; 李红轩; 吉利; 刘晓红
刊名	中国表面工程
	2011
卷号	24 期号:3 页码:17-22
关键词	类石墨碳膜磁控溅射摩擦磨损 graphite-like carbon film microstructure tribological properties
ISSN号	1007-9289
中文摘要	利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅基底上沉积了类石墨非晶碳膜利用X射线光电子光谱Raman光谱高分辨透射电子显微镜及原子力显微镜对沉积薄膜的微观结构进行了详细表征; 利用纳米压痕仪和球盘摩擦试验机分别对其力学性能和摩擦学性能进行了测试结果表明，当前制备的非晶碳膜中 sp2杂化碳占主导呈现出类石墨特征，但薄膜硬度可达14.2 GPa 大气环境中的摩擦性能测试表明，所制备的类石墨非晶薄膜具有优异的摩擦学性能: 其承载能力高达2.8 GPa，同时具有较低摩擦因数(～0.05)和磨损率(～10-11 cm3/Nm). 类石墨碳膜优异的摩擦学性能主要归因于其独特的结构较低的内应力及良好的热稳定性.
学科主题	材料科学与物理化学
资助信息	国家自然科学基金(50705093，50575217);创新群体基金(50421502);国家973计划(2007 CB607601)
语种	中文
公开日期	2012-09-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/937]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	陈建敏,周惠娣,吴艳霞,等. 非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能[J]. 中国表面工程,2011,24(3):17-22.
APA	陈建敏,周惠娣,吴艳霞,李红轩,吉利,&刘晓红.(2011).非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能.中国表面工程,24(3),17-22.
MLA	陈建敏,et al."非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能".中国表面工程 24.3(2011):17-22.