金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究

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	金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究
	薛群基; 王立平; 王立平
刊名	摩擦学学报
	2011
卷号	31 期号:1 页码:1-7
关键词	GLC膜金属结构摩擦学性能 GLC film metal microstructure tribological performance
ISSN号	1004-0595
通讯作者	王立平
中文摘要	利用磁控溅射技术制备了不同金属(Ti、Cr、Zr)掺杂类石墨(graphite-likecarbon，GLC)薄膜，考察了金属掺杂对薄膜结构及其在不同环境下摩擦学性能的影响．结果表明：Ti、Cr、Zr掺杂促进了GLC膜中sp2结构的增加但过快的金属共沉积速率易使薄膜出现柱状生长取向而变得疏松粗糙；高硬GLC膜在大气及水环境中具有良好的环境自适应减摩抗磨作用特性，适当的金属掺杂可以提高GLC膜硬度并降低其干摩擦系数，但会使其水环境中摩擦系数升高；致密度和硬度对GLC膜耐磨性至关重要，致密而硬的膜层磨损轻微．
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	EI
资助信息	国家高技术研究发展计划(863) 项目(2009AA03Z105);国家自然科学基金项目(50772115;50905178)
语种	中文
公开日期	2012-09-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/911]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
通讯作者	王立平; 王立平
推荐引用方式 GB/T 7714	薛群基,王立平,王立平. 金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究[J]. 摩擦学学报,2011,31(1):1-7.
APA	薛群基,王立平,&王立平.(2011).金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究.摩擦学学报,31(1),1-7.
MLA	薛群基,et al."金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究".摩擦学学报 31.1(2011):1-7.