磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响

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	磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响
	王立平; 薛群基; 王立平
刊名	摩擦学学报
	2011
卷号	31 期号:3 页码:304-309
关键词	磁控溅射 Al/a-C:H 纳米复合薄膜摩擦学性能 magnetron sputtering nanocomposite tribological property
ISSN号	1004-0595
通讯作者	王立平
中文摘要	本文采用中频磁控溅射金属Al靶，以CH4为反应气体，通过调整Al靶溅射功率，在p(100)单晶硅片和不锈钢基底上成功制备出不同Al含量的Al/ａ-C∶H纳米复合薄膜．并利用HR-TEM、XPS、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机等手段分析和研究了Al/ａ -C∶H薄膜的结构、机械及摩擦学性能．结果表明：金属Al以纳米晶颗粒形式镶嵌在非晶碳网络中，使得所制备Al/ａ-C∶H薄膜呈现出典型的纳米晶/非晶复合结构；同时，Al掺杂促进了薄膜中sp2杂化碳形成，且有效地释放残余内应力．Al靶溅射功率为800W时所制备的Al/ａ-C∶H薄膜具有结构致密、内应力低、硬度高的特性；在大气环境中，该薄膜与Si3N4陶瓷球干摩擦时显示出优越的摩擦学性能，其摩擦系数约为0.055，磨损率约为2.9×10-16m3/(N·m)．
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	EI
资助信息	国家高技术研究发展计划(863)项目(2009AA03Z105);国家自然科学基金项目(50905178)
语种	中文
公开日期	2012-09-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/909]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
通讯作者	王立平; 王立平
推荐引用方式 GB/T 7714	王立平,薛群基,王立平. 磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响[J]. 摩擦学学报,2011,31(3):304-309.
APA	王立平,薛群基,&王立平.(2011).磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响.摩擦学学报,31(3),304-309.
MLA	王立平,et al."磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响".摩擦学学报 31.3(2011):304-309.