箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征

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	箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征
	王立平
刊名	机械工程材料
	2011
卷号	35 期号:1 页码:69-71
关键词	箔片空气轴承固体润滑 DLC 膜摩擦磨损 foil air bearing solid lubrication DLC film friction and wear
ISSN号	1000-3738
中文摘要	采用中频非平衡磁控溅射方法在箔片空气轴承的主轴材料40Cr 钢、支承元件铍青铜箔片及硅片上制备了钛掺杂的DLC 膜,并对膜的结构、摩擦磨损性能、结合强度以及内应力等进行了表征。结果表明:所制备的DLC 膜含有较多的sp2键,与基体结合力强,两种轴承材料上沉积DLC膜之间的摩擦配副的减摩抗磨效果较好,摩擦因数在0.06~ 0.08, 磨损率为4.8×10- 8mm3 N- 1m- 1可用于箔片空气轴承表面的固体润滑。
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	CSCD
资助信息	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所长基金资助项目(K587-09-JS)
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:4144958
公开日期	2012-09-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/893]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	王立平. 箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征[J]. 机械工程材料,2011,35(1):69-71.
APA	王立平.(2011).箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征.机械工程材料,35(1),69-71.
MLA	王立平."箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征".机械工程材料 35.1(2011):69-71.