| 衬底温度对磁控溅射制备外延ZnO薄膜结构特性的影响 | |
| 周阳[1]; 仇满德[2]; 赵庆勋[3]; 李晓红[4]; 彭英才[5]; 刘保亭[6] | |
| 刊名 | 功能材料
 |
| 2009 | |
| 卷号 | 40期号:5页码:735-738 |
| 关键词 | ZnO薄膜 射频磁控溅射 衬底温度 外延生长 |
| ISSN号 | 1001-9731 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.3321/j.issn:1001-9731.2009.05.009 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5114269 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | [1]河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002[2]河北大学,化学与环境科学学院,河北,保定,071002[3]河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002[4]河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002[5]河北大学,电子信息工程学院,河北,保定,071002[6]河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周阳[1],仇满德[2],赵庆勋[3],等. 衬底温度对磁控溅射制备外延ZnO薄膜结构特性的影响[J]. 功能材料,2009,40(5):735-738. |
| APA | 周阳[1],仇满德[2],赵庆勋[3],李晓红[4],彭英才[5],&刘保亭[6].(2009).衬底温度对磁控溅射制备外延ZnO薄膜结构特性的影响.功能材料,40(5),735-738. |
| MLA | 周阳[1],et al."衬底温度对磁控溅射制备外延ZnO薄膜结构特性的影响".功能材料 40.5(2009):735-738. |
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