| 高介电栅介质ZrO2薄膜的物理电学性能 | |
| 武德起[1]; 姚金城[2]; 赵红生[3]; 常爱民[4]; 李锋[5]; 周阳[6] | |
| 刊名 | 河北大学学报（自然科学版）
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| 2009 | |
| 卷号 | 29期号:5页码:484-488,554 |
| 关键词 | ZrO2薄膜 高介电栅介质 等效厚度 漏电流 |
| ISSN号 | 1000-1565 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1000-1565.2009.05.010 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5111214 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | 1.中国科学院新疆理化技术研究所,新疆乌鲁木齐,830011 2.中国科学院半导体所,北京,100038 3.中国科学院研究生院,北京,100049 4.中国科学院新疆理化技术研究所,新疆乌鲁木齐,830011 5.中国科学院新疆理化技术研究所,新疆乌鲁木齐,830011 6.中国科学院研究生院,北京,100049 7.河北大学物理科学与技术学院,河北保定,071002 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武德起[1],姚金城[2],赵红生[3],等. 高介电栅介质ZrO2薄膜的物理电学性能[J]. 河北大学学报（自然科学版）,2009,29(5):484-488,554. |
| APA | 武德起[1],姚金城[2],赵红生[3],常爱民[4],李锋[5],&周阳[6].(2009).高介电栅介质ZrO2薄膜的物理电学性能.河北大学学报（自然科学版）,29(5),484-488,554. |
| MLA | 武德起[1],et al."高介电栅介质ZrO2薄膜的物理电学性能".河北大学学报（自然科学版） 29.5(2009):484-488,554. |
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