| 氢对非晶氮化硅薄膜键合结构和光学吸收特性的影响 | |
| 于威[1]; 孟令海[2]; 丁文革[3]; 苑静[4] | |
| 刊名 | 信息记录材料
 |
| 2010 | |
| 期号 | 01页码:8-11 |
| 关键词 | 氢化非晶氮化硅 対靶磁控溅射 键合结构 光学吸收特性 |
| ISSN号 | 1009-5624 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5108647 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | [1]河北大学物理科学与技术学院[2]河北大学物理科学与技术学院[3]河北大学物理科学与技术学院[4]河北大学物理科学与技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于威[1],孟令海[2],丁文革[3],等. 氢对非晶氮化硅薄膜键合结构和光学吸收特性的影响[J]. 信息记录材料,2010(01):8-11. |
| APA | 于威[1],孟令海[2],丁文革[3],&苑静[4].(2010).氢对非晶氮化硅薄膜键合结构和光学吸收特性的影响.信息记录材料(01),8-11. |
| MLA | 于威[1],et al."氢对非晶氮化硅薄膜键合结构和光学吸收特性的影响".信息记录材料 .01(2010):8-11. |
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