| 题名 | Ti-Al-O和Ba Sr TiO 高介电常数薄膜的制备及性能 |
| 作者 | 王玉强[1] |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 河北大学 |
| 关键词 | Ti3Al合金靶 脉冲激光沉积 磁控溅射法 MOS异质结 高介电常数薄膜 电学性能 激光能量密度 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5106779 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | [1]河北大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王玉强[1]. Ti-Al-O和Ba Sr TiO 高介电常数薄膜的制备及性能[D]. 河北大学. 2010. |
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