CORC  > 河北大学
非晶Ni-Al阻挡层对快速退火制备的硅基Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜结构及物性影响的研究
孙杰[1]; 刘保亭[2]; 陈江恩[3]; 娄建忠[4]; 周阳[5]
刊名人工晶体学报
2010
卷号39期号:2页码:318-323
关键词BST薄膜 非晶Ni-Al阻挡层 快速退火 导电机制
ISSN号1000-985X
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5105284
专题河北大学
作者单位1.河北大学物理科学与技术学院,保定,071002
2.河北大学电子信息工程学院,保定,071002
3.河北大学物理科学与技术学院,保定,071002
4.河北大学电子信息工程学院,保定,071002
推荐引用方式
GB/T 7714
孙杰[1],刘保亭[2],陈江恩[3],等. 非晶Ni-Al阻挡层对快速退火制备的硅基Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜结构及物性影响的研究[J]. 人工晶体学报,2010,39(2):318-323.
APA 孙杰[1],刘保亭[2],陈江恩[3],娄建忠[4],&周阳[5].(2010).非晶Ni-Al阻挡层对快速退火制备的硅基Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜结构及物性影响的研究.人工晶体学报,39(2),318-323.
MLA 孙杰[1],et al."非晶Ni-Al阻挡层对快速退火制备的硅基Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜结构及物性影响的研究".人工晶体学报 39.2(2010):318-323.
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