| 用于实时溅射深度测量的新型Grimm辉光放电光源的设计 | |
| Wan Zhen-zhen[1]; Li Xiao-jia[2]; Wang Yong-qing[3]; Sun Rong-xia[4]; Shi Ning[5] | |
| 刊名 | 光谱学与光谱分析
 |
| 2011 | |
| 卷号 | 31期号:4页码:1142-1146 |
| 关键词 | 辉光放电光源 深度分析 溅射 实时深度测量 激光位移传感器 激光三角测量 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.3964/j.issn.1000-0593(2011)04-1142-05 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5100730 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | 1.[1]Natl Testing Ctr Iron & Steel, Cent Iron & Steel Res Inst, Beijing 100081, Peoples R China. 2.[2]Natl Testing Ctr Iron & Steel, Cent Iron & Steel Res Inst, Beijing 100081, Peoples R China. 3.[3]Hebei Univ, Coll Elect & Informat Engn, Baoding 071002, Peoples R China. 4.[4]Hebei Univ, Coll Elect & Informat Engn, Baoding 071002, Peoples R China. 5.[5]Beihang Univ, Coll Software, Beijing 100191, Peoples R China. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wan Zhen-zhen[1],Li Xiao-jia[2],Wang Yong-qing[3],等. 用于实时溅射深度测量的新型Grimm辉光放电光源的设计[J]. 光谱学与光谱分析,2011,31(4):1142-1146. |
| APA | Wan Zhen-zhen[1],Li Xiao-jia[2],Wang Yong-qing[3],Sun Rong-xia[4],&Shi Ning[5].(2011).用于实时溅射深度测量的新型Grimm辉光放电光源的设计.光谱学与光谱分析,31(4),1142-1146. |
| MLA | Wan Zhen-zhen[1],et al."用于实时溅射深度测量的新型Grimm辉光放电光源的设计".光谱学与光谱分析 31.4(2011):1142-1146. |
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