| 外延CeO2高k栅介质层的结构及介电性能 | |
| 娄建忠[1]; 代鹏超[2]; 李曼[3]; 赵冬月[4]; 刘保亭[5] | |
| 刊名 | 电子元件与材料
 |
| 2011 | |
| 卷号 | 30期号:3页码:32-35 |
| 关键词 | 硅衬底外延CeO2薄膜 高k栅介质层 介电性能 |
| ISSN号 | 1001-2028 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1001-2028.2011.03.010 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5100692 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | 1.[1]河北大学,电子信息工程学院,河北,保定,071002[2]河北大学,电子信息工程学院,河北,保定,071002 2.河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002[3]河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002[4]河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002[5]河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 娄建忠[1],代鹏超[2],李曼[3],等. 外延CeO2高k栅介质层的结构及介电性能[J]. 电子元件与材料,2011,30(3):32-35. |
| APA | 娄建忠[1],代鹏超[2],李曼[3],赵冬月[4],&刘保亭[5].(2011).外延CeO2高k栅介质层的结构及介电性能.电子元件与材料,30(3),32-35. |
| MLA | 娄建忠[1],et al."外延CeO2高k栅介质层的结构及介电性能".电子元件与材料 30.3(2011):32-35. |
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