CORC  > 河北大学
nc-Si:H薄膜的微结构特征与光学特性
娄建忠[1]; 李钗[2]; 马蕾[3]; 王峰[4]; 江子荣[5]
刊名河北大学学报(自然科学版)
2012
卷号32期号:6页码:592-596
关键词RF-PECVD nc-Si:H薄膜 微结构 光学特性
ISSN号1000-1565
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5092894
专题河北大学
作者单位[1]河北大学电子信息工程学院[2]河北大学电子信息工程学院[3]河北大学电子信息工程学院[4]河北大学电子信息工程学院[5]河北大学电子信息工程学院
推荐引用方式
GB/T 7714
娄建忠[1],李钗[2],马蕾[3],等. nc-Si:H薄膜的微结构特征与光学特性[J]. 河北大学学报(自然科学版),2012,32(6):592-596.
APA 娄建忠[1],李钗[2],马蕾[3],王峰[4],&江子荣[5].(2012).nc-Si:H薄膜的微结构特征与光学特性.河北大学学报(自然科学版),32(6),592-596.
MLA 娄建忠[1],et al."nc-Si:H薄膜的微结构特征与光学特性".河北大学学报(自然科学版) 32.6(2012):592-596.
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