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题名	微纳米机电系统力电耦合理论与数值方法研究
作者	梁斌斌
导师	王炳雷
关键词	NEMS 尺寸效应 不稳定吸合 卡西米尔力 范德华力
学位名称	工程硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5062529
专题	山东大学
推荐引用方式 GB/T 7714	梁斌斌. 微纳米机电系统力电耦合理论与数值方法研究[D].

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