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题名	CoFeB/MgO/CoFeB磁性隧道结的微加工制作与YIG单晶纳米薄膜的溅射生长
作者	李志超
导师	康仕寿
关键词	磁性隧道结 磁控溅射 紫外光刻 YIG 铁磁共振
学位名称	工学硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5054609
专题	山东大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李志超. CoFeB/MgO/CoFeB磁性隧道结的微加工制作与YIG单晶纳米薄膜的溅射生长[D].

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