| 溅射系统中(Ar&H)-Si系等离子体的Langmuir探针诊断 | |
| 郭维华; 蒋百灵; 李洪涛; 曹政; 郭烈萍 | |
| 2010 | |
| 会议名称 | 第十二届全国固体薄膜会议论文集中国电子学会 |
| 会议地点 | 南宁 |
| 关键词 | 磁控溅射 Langmuir探针 氢分压 等离子体 |
| 页码 | 265-268 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5042291 |
| 专题 | 西安理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭维华,蒋百灵,李洪涛,等. 溅射系统中(Ar&H)-Si系等离子体的Langmuir探针诊断[C]. 见:第十二届全国固体薄膜会议论文集中国电子学会. 南宁. |
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